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    日本科學家們開發(fā)出ZHR方法改進薄膜單晶硅的制造工藝

    核心提示:日本東京工業(yè)大學和早稻田大學的一個聯合研究小組開發(fā)出一種新型薄膜單晶硅太陽能電池生產技術,這項新技術有望極大降低大規(guī)模生產的成本,同時還能保持較高的電池效率。
       日本東京工業(yè)大學和早稻田大學的一個聯合研究小組開發(fā)出一種新型薄膜單晶硅太陽能電池生產技術,這項新技術有望極大降低大規(guī)模生產的成本,同時還能保持較高的電池效率。

      日本科學家們開發(fā)出ZHR方法改進薄膜單晶硅的制造工藝
     
      科學家們聲稱,他們能研制出一種優(yōu)質薄膜單晶硅,其厚度約為10μm、且晶體缺陷密度被降低。其硅密度降低到硅晶片的水平,而增長速度超出先前的10倍以上。
      
      研究人員通過一種區(qū)域加熱重結晶方法(ZHR法),將表面粗糙度降低到0.2-0.3nm。基底然后以高速生長,生產出具有高晶體質量的單晶薄膜。利用雙層多孔硅層可以很容易將長好的薄膜剝離下來,基底可重復使用或作為薄膜生長的蒸發(fā)源,從而大幅減少了材料損失。這一工藝同時顯示,表面粗糙度在0.1-0.2nm范圍以內對晶體缺陷的形成具有重要影響。
      
      科學家們在聲明中表示,這種薄膜硅作為低成本的底部電池,應用在串聯型太陽能電池中,其效率有可能超過30%。

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